Controlador de espessura de membranaFornitore globale

401, quarto andar, edifício 5, Zhengzhou Yida Ciência e Tecnologia Nova Cidade, Jingchang Street, Distrito de Alta Tecnologia, Zhengzhou

Detalhes:

Controlador de espessura de membrana

Características técnicas:

1. Operação de tela táctil completa, fácil de usar;

2.32Uma membrana, cada membrana50/100revestimento automático de camada;

3. 12Entrada de sinal de estrada/12saída de interruptor de rota;

4. Modos de controle totalmente automático, semi-automático e manual;

5.Controlável2uma fonte, um conjunto de trabalho outro conjunto de pré-solução;

Parâmetros técnicos

	Controlador CY-FDC-S
Frequência de oscilação	6MHz (Opcional 2.5M 3M 5M 9M cristal)
Modo de exibição	5 "tela táctil colorida + tubo digital taxa de exibição e espessura real
Modo de operação	Tela de toque
Espessura final	00μ0000Å-99μ9999Å
Resolução da espessura	1Å/s
Resolução de exibição de velocidade	0.1Å/s
Número de camadas de revestimento	32 membranas, cada membrana 50/100 camadas;
Número de sondas	A B
Fator de ferramenta	0.01-99.99
Tempo de exibição	00:00:00-23:59:59 H:M:S
Display de potência	0～99.9%
Potência pré-fundida	0～99%
Potência pré-revestida	0～99.9%
Tempo de pré-fusão / tempo de pré-revestimento	0～99:99 m:s
Tempo de isolamento pré-fundido Tempo de isolamento pré-revestido	0～99:99 m:s
Velocidade de revestimento (taxa definida)	0～999.9Å/s
Armazenamento de materiais	257+ 10 tipos personalizados
Comunicações	RS232/RS485
Fonte de evaporação controlada	Dois, um conjunto pode trabalhar outro conjunto pré-dissolvido
Controle de saída	±10V/5V/2.5V
I / Interface	12 entradas de sinal / 12 saídas de interruptor
Número de crucíveis controláveis	1-16 peças
Revestimento de exibição	Curva de taxa/valor
Número de turnos de revestimento	50/100 camadas automáticas por membrana
Tamanho da caixa	480 × 280 × 89mm (caixa de 19 "2U)

Funções especiais:

1Manual, semi-automático, automático3Tipo de modo de revestimento, para atender a várias configurações de máquinas de revestimento;

2Detenção artificial do revestimento: terminação artificial do revestimento durante o processo de revestimento;

3Controle manual: determinar os requisitos do processo de revestimento inicial;

4Sistema de membrana de interrupção: detecção de problemas ou falhas no revestimento automático e semi-automático, pode parar o revestimento e salvar automaticamente o estado atual, após a falha **, o revestimento pode continuar do sistema de membrana de interrupção;

5Quando o revestimento automático ou semi-automático, se a oscilação do cristal falhar, você pode escolher pressionar o revestimento de terminação, o revestimento do tempo de potência atual, a interrupção do chip continuar (sonda multi-chip);

6Duas fontes de pré-fusão simultaneamente: no início do processo de revestimento da camada atual, você pode escolher2A camada é pré-fundida para atender a exigências tensas em ocasiões de tempo;

7Proteção por palavra-passe: função de proteção por palavra-passe dos parâmetros do sistema de membrana e da camada de membrana, para proteger os parâmetros do processo de não ser modificados por pessoas não do processo;

8Registro de dados de revestimento: quando o revestimento automático ou semi-automático, o sistema pode registrar o tempo de formação de película de cada camada e os parâmetros da taxa de espessura final.